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大宗气体工程

  大宗气体:

  集成电路芯片厂中所使用的气体按用量大小可以分为二种:用量大的称为大宗气体(Bulk gas),用量较小的称为特种气体(Specialty gas)。

  大宗气体通常有:氮气、氧气、氢气、氩气、氦气等,其中最常见常用的为氮气。

  大宗气体工程即集中供气系统工程,分为气源部分,输送管道部分,终端配置设备部分。

      集中供气系统工程组成

  气源部分:储气装置有GC/GR,混流排、单瓶或双瓶多瓶面板等,根据气体的不同性质来选择,如腐蚀有毒易燃易爆特气则用GC,普通惰性气体用GR。

  管路部分:不同性质气体用不同材质,如特气为双套管,用EP级不锈钢管作内管,外管为BA级不锈钢管,普气则选用BA级不锈钢管。

  终端部分:VMB/VMP、单面板。根据不同气体性质选择,如特气选用VMB,普气选用VMP。

  大宗气体工程设计施工要求:

  1.管件的选择,业内多数使用SUS316不锈钢材质管,而该类管的抛光等级上却有不同,然而不同的气体对管件有着不同的要求,易燃易爆及毒腐气体对管件要求比较高,普通电子气体的要求则相对较低。

  2.阀门组件选择,不同的阀门有着不同的密封性,其制作工艺上也有很大的区别。对于危险性气体要选用密封线较高的阀门。

  3.减压设备选择,减压设备要严格根据气体输送压力来选择,减压范围要合理,使其压力变更更加精确。

  4.气路泄漏侦测是整个工程必不可缺少的部分,部分危险气体泄漏后危险性极大,所以在安全方面必须有着极为严格的要求!

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