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　　名称：气体混配柜

　　规格：九进一出

　　型号：HSPGB190609

　　柜体尺寸：W550宽×D400深×H850高

　　流量控制：质量流量计程序控制

　　工艺气进口：9个，1/4"MVCR接口

　　工艺气出口：1个，1/4"MVCR接口

　　箱体排气孔：1个，3"

　　盘面规格：1/4"盘面

　　标准配备：防腐机械柜，压力表，质量流量计，当地流量控制

　　气动隔膜阀：CDA驱动，1/4"卡套接口

　　控制柜电源：220VAC，50HZ，100W，漏电保护

　　操作界面：外接电脑显示屏

　　选配：远程流量监控，流量实时调整，压力远程监控，低压报警

　　适用范围：适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。